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一台 "桌面神器" 搞定 Nature成果?无掩膜直写光刻系统助力全功能2D NOR闪存芯片研发

一台 "桌面神器" 搞定 Nature成果?无掩膜直写光刻系统助力全功能2D NOR闪存芯片研发

2025-12-12

近日,复旦大学周鹏、刘春森团队在二维电子学领域取得突破性进展,突破性成功研发出二维-硅基混合架构全功能 2D NOR 闪存芯片。该成果以 “A full-featured 2D flash chip enabled by system integration” 为题发表于《Nature》期刊,而小型台式无掩膜直写光刻系统- MicroWriter ML3在芯片核心电路模块加工中发挥关键支撑作用,这也是该设备助力发表的第七篇 Nature 正刊。

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