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灵活多变的溅射、蒸发一体化台式设备——nanoPVD ST15A

灵活多变的溅射、蒸发一体化台式设备——nanoPVD ST15A

2023-05-26

Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能,在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合,将薄膜制备带入了新的高度。

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