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复旦大学Nature重磅成果,无掩膜直写光刻系统助力太空二维电子器件在轨验证!

复旦大学Nature重磅成果,无掩膜直写光刻系统助力太空二维电子器件在轨验证!

2026-02-13

近日,复旦大学集成芯片与系统全国重点实验室、集成电路与微纳电子创新学院 周鹏、马顺利研究团队的新成果登上《Nature》正刊。团队研制的“青鸟”原子层半导体抗辐射射频通信系统,依托“复旦一号”(澜湄未来星)卫星平台,在国际上首次实现基于二维电子器件与系统的在轨验证,开辟了原子层半导体太空电子学领域,标志着人类向构建高可靠、轻量化的太空电子系统迈出关键一步。该成果题为“Radiation-tolerant atomic-layer-scale RF system for spaceborne communication”,值得注意的是,本文是小型台式无掩膜直写光刻系统- MicroWriter ML3助力完成的第八篇Nature正刊工作。

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