视频回放|《无掩膜光刻技术在生物芯片领域的新应用》
会议时间
2021年12月15日
会议地点
技术线上论坛
报告简介：
在制备新型生物芯片器件时，通常会涉及到光刻工艺。而在诸多光刻技术中，无掩膜光刻技术因其独特的优势和特点，成为当前为流行高效的一种。与传统掩膜版技术相比，无掩膜曝光技术具有高分辨、高对准精度、更加简易操作等诸多优势，能够轻松实现微米、亚微米级精度的光刻、套刻。配合各类标准微加工工艺，能够方便快捷地实现各类生物芯片器件的制备。在本报告中，将重点介绍无掩膜光刻技术新前沿进展，结合来自国内外以色列理工，IBM，复旦等科研单位在国际期刊发表的研究成果，探讨无掩膜光刻技术在生物芯片领域的应用。
视频回放：
