定制探针台

定制探针台


除了我们众多的标准低温探针台产品线外,Lake Shore还可以与您合作设计定制探针台,以满足您的特定实验要求。有关定制产品的一些示例,请参见下文。


联系我们讨论您的定制需求。

 


无液氦超导磁体探针台

定制液氦/液氮冷却探针台

 

√  3T或5T垂直磁场

√  2 K至420 K(最大磁场降低至室温以上)

√  用于零场测量的可选6.5英寸直径样品座

√  样品阶段的振动小于1µm



 

√  最多8个样品

√  高达3 kV电压测试

√  ~3.5 K至475 K(675 K可选)

√  样品台处25 nm振动



室温真空探针台

微型可运送样品真空腔室

 

√   300 K至500 K(675 K可选)

√  直径2英寸的样品座,带标准探针臂和视觉选件

Lake Shore还提供了一个微型、可运送样品的真空室,能够在通过大气环境运输的过程中保持样品处于真空状态。真空室可用于在真空下将晶圆片/衬底从具有特殊环境的手套箱转移到真空或低温微操作探针台(或转移到真空室),并在测试、测量或准备后返回手套箱。这种可运输的真空室在装载和卸载时保护晶片/基板免受大气污染。

 

与普通的真空Load Lock不同,该真空室具有以下特点和优点:

√  典型尺寸为直径50 mm、厚度25 mm寸

√  无需闸板阀

√  操作非常方便

√  低成本

√  在不增加低温探针台基础温度的情况下安装可运送样品支架

 


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