台式高精度薄膜制备与加工系统
台式高精度薄膜制备与加工系统
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台式高精度薄膜制备与加工系统

台式高精度薄膜制备与加工系统

Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司,成立25年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术,拥有雄厚的技术实力,推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。Moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作,推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能卓越、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。

Moorfield Nanotechnology推出的台式设备体积小巧,但性能已经可以和大型设备相媲美。这些设备已经进入了欧洲的顶级实验室,诸如曼彻斯特大学、剑桥大学、帝国理工学院、诺森比亚大学、巴斯大学、埃克塞特大学、伦敦玛丽女王大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学、西班牙光子科学研究所、英国国家物理实验室等著名单位都是Moorfield Nanotechnology的用户和长期合作者。诸多的用户与合作者让产品的性能和设计理念得到了高速发展,并迈入全球化的进程。

如今Quantum Design中国子公司与Moorfield Nanotechnology正式合作,作为中国的独家代理和战略合作伙伴,将为中国用户提供高性能的设备与优质的服务。除了台式设备之外我们还提供多种大型设备和定制服务。全系列产品即将上线,敬请期待……


可实现二维材料的精准刻蚀和人工缺陷制造,在刻蚀的同时不会破坏器件边缘的性质,不会使光刻胶变性。

产品特点


产品体积小巧、自动化程度高、配置灵活、性能卓越,可快速实现科研院所和工业领域的探索性研究。与传统大型设备相比节省大量经费和时间。小、快、灵的高性能台式设备已成为科研设备新的发展方向。

应用领域


半导体

光伏材料(包括新型钙钛矿太阳能材料)

磁性材料

有机材料

石墨烯

2D材料的制备与加工处理

台式高性能CVD石墨烯/碳纳米管快速制备系列—nanoCVD


超快速高质量石墨烯生长设备,整个过程30分钟内搞定!


CVD被公认为是石墨烯具有应用前景的制备手段。NanoCVD系列台式设备是专为制备高质量的石墨烯与碳纳米管而开发的高性能台式CVD系统。与曼彻斯特大学诺奖团队的长期合作使得该系列产品在制备石墨烯等碳基纳米材料方面具有雄厚的技术积累。该系列产品操作简便,生长条件控制精准,生长迅速、制备出的样品具有高质量、高可重复性,可清楚的观测到分数量子霍尔效应。尤其适合于需要快速得到高质量石墨烯或碳纳米管用于高端学术研究的团队。


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台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD


可媲美大型PVD的台式高性能PVD系统 ,爆款热销中!


基于多年大型薄膜制备系统的设计与研发所积累的丰富经验,Moorfield Nanotechnology推出了台式高性能多功能PVD薄膜制备系列产品。该系列产品是为高水平学术研究研发的小型物理气相沉积设备。该系列产品包含磁控溅射、金属/机物热蒸发系统。这些设备虽然体积小巧但是性能卓越,能够快速实现高质量纳米薄膜、异质结的制备,通常在大型设备中才有的共溅射功能也可以在该系列产品上实现。便捷的操作、智能的控制、高效的制备效率让您的学术研究进入快车道。


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台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统—nanoETCH


用于超精准刻蚀二维材料与样品表面处理的等离子体刻蚀系统,诺奖团队都在用!


石墨烯等二维材料的微纳加工与刻蚀需要很高的精度,而目前成熟的传统半导体刻蚀系统在面对单层材料的高精度刻蚀需求时显得力不从心。为了解决目前维纳加工中常用的蚀系统功率较大、难以精细控制的问题,Moorfield Nanotechnology 推出了台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统 - nanoETCH。该系统对输出功率的分辨率可到达毫瓦量级,对二维材料可实现超精准的逐层刻蚀,也可实现对二维材料进行层内缺陷制造,此外还可对石墨基材等进行表面处理。

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台式精准气氛\压力控制高温退火系统—ANNEAL


从高真空到各种气氛都能精准控制的高端热处理系统


Moorfield Nanotechnology专门为制备高质量的样品而推出的台式精准气氛\压力控制高温退火系统,该系统可以满足从高真空到各种气氛的退火需求。对气压和温度都能进行精准控制,该系统不仅仅是普通的退火系统更是二维材料、基片等进行精确可控热处理的重要保障。该系统颠覆了传统箱式、管式炉的粗放退火方式,开创了精准退火的新篇章。


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多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM


是一台喷金仪,但不仅仅是喷金仪


多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM是Moorfield Nanotechnology为SEM、TEM样品的表面导电处理以及普通样品的高质量电极生长而设计的金属溅射系统。系统配备SEM样品托、TEM样品网、普通薄膜样品等多种专用样品台。虽然该系统主要为溅射金属而设计,但是该设备的性能已经达到了高质量薄膜样品的制备标准。通过选择不同的配置可以兼顾样品的表面导电处理、电极制备与学术研究型薄膜样品的制备。因此nanoEM是一台不可多得的多功能高级磁控溅射喷金仪。


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部分单位及用户评价


意大利比萨大学(nanoPVD S10A)

Moorfield最近在意大利比萨大学安装了另一台nanoPVD-S10A磁控溅射系统。在这里,它将被Giuseppe Barillaro副教授领导的团队用于为新型器件生长保护性和功能性涂层。该小组的研究应用包括纳米医学、生物传感、微电子学和光子学。


诺森比亚大学(nanoPVD S10A,MiniLab)

DR. GUILLAUME ZOPPI对Moorfield的评价:

在诺森比亚大学,我们正在研究各种材料的尖端应用,特别是光伏材料。作为不可或缺的部分,Moorfield最近安装的用于磁控溅射和电子束蒸发的nanoPVD和MiniLab系统发挥了关键作用。Moorfield专家的专业建议确保了我们得到最为合适的设备,我们对设备的质量和快速、高效的技术支持留下了深刻的印象。很高兴能和Moorfield的团队一起工作。


巴斯大学(nanoPVD-T15A)

DR. PETRA CAMERON对Moorfield的评价:

我们的研究重点是电化学材料、能源材料和钙钛矿光伏材料。我们之前一直在寻找一个可靠且易于使用的台式蒸发设备。现在,我们新的Moorfield nanoPVD-T15A热蒸发系统可以高质量的沉积金属电极和钙钛矿光伏材料的接触层。让我们喜欢的另一方面是,该系统是模块化的,可以很容易地升级低温有机物蒸发模块。我们的nanoPVD-T15A已经迅速成为一个关键设备,现在每天都在使用。


DR MATTHEW COLE(副教授)对Moorfield的评价:

Moorfield的服务速度快如闪电。他们的产品支持是完美的,首屈一指的。


丹麦技术大学(MiniLab090手套箱集成系统)

为了满足Tim Booth在二维材料和异质结的合成和应用研究,系统在MiniLab090的基础上集成了手套箱,允许在惰性气体环境下进行完整的设备操作。系统配置包括软刻蚀、热蒸发和磁控溅射。


Tim Booth教授对Moorfield的评价:


在DTU,我们最近从Moorfield采购了一套手套箱集成系统,系统配置包括软蚀刻系统、热蒸发和磁控溅射功能,用于我们研究二维材料和异质结的合成和应用。该系统允许我们在高精度控制的低氧和水气条件下执行2D材料器件的大部分微加工步骤。

Moorfield团队在设计和安装过程中至关重要并且非常专业,如果有任何疑问,他们总是可以立即提供技术支持。他们在提供2D材料技术支持方面有多年的经验,所以我们知道我们有了得力的助手。系统的高质量和优秀设计方案让我们印象深刻,我们期待着在未来的许多年里与设备和Moorfield团队一起工作。强烈推荐!”

MiniLab090手套箱集成系统,图中红色部分为集成系统的控制屏幕和主机部分。


曼彻斯特大学(手套箱集成退火和刻蚀系统)

DR. ROMAN GORBACHEV对Moorfield的评价:

我的团队最近与Moorfield合作,为我们的应用方向定制了一个集成手套箱的热退火和软蚀刻组合系统。它安装于新的National Graphene Institute (NGI),现在被用于石墨烯和2D材料的研究。我们一直对Moorfield的专业技术和提高客户满意度的奉献印象深刻,这次也不例外!


西班牙光子研究所(手套箱集成退火和刻蚀系统)

位于西班牙巴塞罗那Castelldefels 的ICFO (光子科学研究所)是一个致力于光学领域科学和技术的研究中心。

DR. STIJN GOOSSENS对Moorfield的评价:

在ICFO,我们正在努力建立一个世界级的新材料研究中心。最近安装的Moorfield 手套箱集成热退火系统、电子束沉积系统,以及新的nanoETCH系统,起到了关键作用。我们对他们专业的销售建议、他们系统的质量和可靠性以及他们快速、有效的支持印象深刻。很高兴能和他们的团队一起工作!


Evonetix公司(MiniLab 026 热蒸发系统)

Evonetix公司致力于利用革命性的基因合成技术,促进合成生物学领域的快速发展。Evonetix的优势是基因合成的高保真性和并行性。


DR. DAN BRATTON PH.D对Moorfield的评价:

在Evonetix,我们正在开创一种可扩展和高保真基因合成的创新方法。我们想拥有一种将金属蒸发到各种基材上的设备,我们联系了Moorfield Nanotechnology公司,该公司根据我们的要求定制了一个Minilab 026蒸发系统。在整个过程中,Moorfield Nanotechnology团队非常友好且知识渊博,在安装前后都提供现场培训。在Evonetix, Minilab 026已经被证明是非常有用的设备。特别是,我们喜欢它的紧凑设计,它的易用性,以及它所带来的样品数量的增加。我们愿意向任何人推荐该设备和团队。

Evonetix团队与新安装的MiniLab026热蒸发系统


曼彻斯特城市大学(MiniLab 060)


DR. JUSTYNA KULCZYK对Moorfield的评价:

在MMU,我们最近成立了曼彻斯特燃料电池创新中心,以开发利用可再生能源的创新技术方案。为此,我们采购了Moorfield MiniLab 060磁控溅射系统,该系统具有快速进样室、衬底偏压和等离子清洗、脉冲直流和射频电源以及共沉积功能。在系统设计过程中,Moorfield提供了非常宝贵的建议。我们对系统和软件的质量,以及他们团队的专业知识、沟通和技术支持都留下了深刻的印象。我们将推荐给任何现在或将来考虑使用PVD系统的人。

曼彻斯特城市大学正在利用Moorfield Nanotechnology公司的MiniLab 060系统进行最先进的燃料电池的研究和开发。