Lake Shore低温探针台系列
Lake Shore低温探针台系列
Lake Shore低温探针台系列

Lake Shore低温探针台系列

美国Lake Shore公司成立于1968年,是极端温度和磁场条件下材料表征测量和控制解决方案的创新者。其主要产品包括:低温探针台、振动样品磁强计、霍尔效应测量系统、低温恒温器、低温控温仪、低温传感器、高斯计等。

美国Lake Shore公司的低温探针台能够提供精确的环境控制、可重复的测量,是全球科研工作者们值得信赖的伙伴。所有Lake Shore的探针台都经过了专有的热学设计,以确保样品的温度在测试时获得尽可能高的置信度。使用ZN50R-CVT探头,能有效减少热胀冷缩效应,确保在大范围温度变化时针尖位置保持稳定,使其在连续可变的温度下进行无人值守测量成为可能。 

Lake Shore低温探针台主要用于电学、磁学、微波、THz、光学等多种测量,可以根据客户需要,选择不同的温度和磁场配置。客户可以选择自己搭配测试仪表集成各类测试,也可以选择我们的整体测试解决方案,如电输运测试、半导体分析测试、霍尔效应测试、铁电分析测试,集成光学测试等。

主要特征


◇  最大±2.5T磁场,可定制5T磁场

◇  低温至1.6K,高温至675K

◇  最大可测8英寸晶圆样品

◇  最高67GHz高频探针

◇  3 kV 高电压探针

◇  大温区低温漂探针

◇  真空腔联用传送样品

◇  <30 nm低振动适用于显微光学测量

◇  霍尔效应、铁电、半导体分析测试选件


探针台选型指引

*如果有特殊需求,可以联系我们商讨定制方案

型号

磁场

最大探针臂数

标准温度范围

可选高温

可选低温

最大样品尺寸

真空

样品台旋转

无液氦低温探针台

CRX-EM-HF

0.6 T 水平磁场

电磁铁

4

8 K to 400 K

25 mm (1 in)

直径

10-5 torr

±360° (可选)

CRX-VF

2.5 T 垂直磁场

超导磁体

6

10 K to 500 K,

<10 K to 400 K

同Load Lock使用时

51 mm (2 in)

直径

10-5 torr 标准,

10-7 torr 可选

CRX-4K

6

4.5 K to 350 K

20 K to 675 K

51 mm (2 in)

直径

10-5 torr

CRX-6.5K

6

<10 K to 350 K

20 K to 675 K

51 mm (2 in)

直径

10-5 torr

(消耗制冷剂)低温探针台

FWPX

6

4.5 K to 475 K

3.5 K

102 mm (4 in)

直径

10-5 torr

±5°

EMPX-H2

0.6 T 水平磁场

电磁铁

4

4.5 K to 400 K;

8 K to 400 K 

同360°旋转选件使用时

3.2 K

25 mm (1 in)

直径

10-5 torr

±360° (可选)

CPX-VF

2.5 T 垂直磁场

超导磁体

6

4.2 K to 400 K,

<10 K to 400 K

同Load Lock使用时

2 K

51 mm (2 in)

直径

10-5 torr 标准

10-7 torr 可选

±5°

CPX

 

 

6

4.2 K to 475 K,<10 K to 400 K

同Load Lock使用时

 

低温:1.9 K

极低温: 1.6 K

51 mm (2 in)直径

12.7 mm (0.5 in)连接Load Lock

10-5 torr 标准

10-7 torr 可选

 

±5°

TTPX

6

4.2 K to 475 K

20 K to 675 K

3.2 K

51 mm (2 in)

直径

10-5 torr

PS-100

4

4.2 K to 475 K

3.2 K

32 mm (1.25 in)

直径

10-5 torr



无液氦低温探针台


CRX-4K无液氦低温探针台


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  √  温度范围4.5 K~350 K,可选高温至675 K

  √  低温操作

  √  降温中尽可能减少样品冷凝

  √  标准2英寸(51 mm)样品,4英寸(102mm)可选

  √  环形磁体选件最大0.19T

CRX-6.5K无液氦低温探针台


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  √  温度范围<10 K~350 K

  √  可选高温至675 K

  √  降温中尽可能减少样品冷凝

  √  最大2英寸(51 mm)样品

  √  环形磁体选件最大0.19T

CRX-EM-HF无液氦低温磁场探针台


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  √ 温度范围8 K~400 K

  √ 水平磁场±0.6 T

  √ 最大1英寸(25.4 mm)样品

  √ 无需系统降温即可施加磁场

  √ 样品360°旋转磁各向异性测试

CRX-VF无液氦超导磁体探针台


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  √ 温度范围10 K~500 K

  √ 垂直磁场±2.5 T

  √ 最大2英寸(51 mm)样品

  √ 90°探针样品测量

  √ 霍尔效应测试选件

  √ 超高真空选件

  √ 可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境



(消耗制冷剂)低温探针台


FWPX四英寸低温探针台


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  √  温度范围4.5 K~475 K,可选低温3.5 K

  √  样品快速测量

  √  标准4英寸(102 mm)样品,6英寸(152 mm)可定制

  √  样品可面内±5°旋转

  √  样品振动<30 nm



CPX多功能低温探针台


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  √  温度范围4.3 K~475 K

  √  可选低温1.9 K/1.6 K

  √  标准2英寸(51 mm)样品,4英寸(102 mm)可定制

  √  样品可面内±5°旋转

  √  样品振动<30 nm可选

  √  超高真空选件

  √  可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境

  √  环形磁体选件最大0.19T


TTPX桌面式低温探针台


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  √  温度范围4.3 K~475 K

  √  可选低温3.2 K,可选高温675 K

  √  标准2英寸(51 mm)样品

  √  紧凑型桌面设计

  √  样品振动<30 nm可选

  √  环形磁体选件最大0.19T

  √  允许样品背光接入


PS-100经济型桌面式低温探针台


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  √ 温度范围4.3 K~475 K

  √ 可选低温3.2 K

  √ 标准1.25英寸(32 mm)样品

  √ 紧凑型桌面设计

  √ 快速交货

  √ 样品振动<30 nm可选

  √ 环形磁体选件最大0.19T

EMPX-H2低温磁场探针台


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  √  温度范围4.5 K~400 K,可选低温3.2 K

  √  水平磁场±0.6 T

  √  最大1英寸(25.4 mm)样品

  √  无需系统降温即可施加磁场

  √  样品360°旋转磁各向异性测试

CPX-VF低温超导磁体探针台


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  √  温度范围4.3 K~400 K,可选低温1.9 K

  √  垂直磁场±2.5 T

  √  最大2英寸(51 mm)样品

  √  样品可面内±5°旋转

  √  样品振动<30 nm可选

  √  90°探针样品测量

  √  霍尔效应测试选件

  √  超高真空选件

  √  可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境


定制低温探针台


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  √  无液氦超导磁体3 T/5 T

  √  最大8英寸晶圆样品

  √  高电压测量至3 KV

  √  室温真空探针台

  √  真空腔联用转移样品

  √  其他定制化需求请联系我们