站内搜索
产品信息 ·当前位置:首页 -> 产品信息 
NBM激光脉冲沉积薄膜系统      
 
       脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition,PLD),也被称为脉冲激光烧蚀(pulsed laser ablation,PLA),是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段。
 
   自1987年成功制作高温的Tc超导膜开始,用作膜制造技术的脉冲激光沉积获得普遍赞誉,并吸引了广泛的注意。过去十多年,脉冲激光沉积已用来制作具备外延特性的晶体薄膜。陶瓷氧化物(ceramic oxide)、氮化物膜(nitride films)、金属多层膜(metallic multilayers),以及各种超晶格(superlattices)都可以用PLD来制作。近来亦有报告指出,利用PLD可合成纳米管(nanotubes)、纳米粉末(nanopowders),以及量子点(quantum dots)。关于复制能力、大面积递增及多级数的相关生产议题,亦已经有人开始讨论。因此,薄膜制造在工业上可以说已迈入新纪元。
 
PLD主要优点 

1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有良好的保成分性;
2. 沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;
3. 工艺参数任意调节,对靶材的种类没有限制;
4. 发展潜力巨大,具有极大的兼容性;
5. 便于清洁处理,可以制备多种薄膜材料。

 
 
 
 
    NBM Design是坐落于马里兰州北部的一家PLD设备生产企业,公司成立于2000年,与真空设备生产商和激光生产商拥有良好的合作关系。公司致力于设计和制造高性能的PLD,并可以根据客户的需求来进行各种镀膜方法的集成和原位表征技术,也可以给客户制定全面解决方案。
 
NBM PLD系统的优点:
靶位可采用单个靶,3个,4个或6个靶位;
基片加热温度可达1200度;
机动化自转轴;
可原位调整靶和基片之间的距离;
放置基片和靶非常容易;
采用垂直稽核结构并且很容易安装RHEED;

 
 
 
 
进样室和镀膜真空腔用匝板阀隔开,避免抽真空需要耗费大量的时间,提高镀膜效率。

 
 
定制化服务:根据客户的实际需求设计并生产定制化的产品

 
 
 
Micro PLD系统

 
 
 
高压RHEED系统 

 
    NBM PLD系统因其过硬的质量和全面的服务赢得了全球很多重点实验室的青睐,在我国顶级院校也具有了广泛的客户群:
 
用户:
橡树岭国家实验室
加州大学戴维斯分校
清华大学
北京大学 
...... 
 
 
 
 
   
     
copyright 2011,QUANTUM DESIGN 中国子公司 ALL RIGHTS RESERVED 京ICP备05075508号     法律声明 | 代理合作 | 管理员 | 员工通道