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Swisslitho 3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar在复旦大学成功安装
 
   2018年10月,Swisslitho 3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar在复旦大学张远波教授课题组成功安装。张远波教授是二维材料研究领域的国际领先学者,由于很多二维材料都对空气中的氧气和水蒸气很敏感,所以整个制备过程需要在手套箱惰性气氛保护下完成制备,这样做既可以最大程度地保护样品,又可以减少不必要的转移工序。有鉴于此,Swisslitho公司提供了一整套的手套箱集成方案,实现原位表面结构刻蚀和实时形貌表征,完美的契合了张远波教授的要求。


图1:完成安装及调试后手套箱中的3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar设备

   整个安装过程非常顺利,在3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar完成安装的当周内,YU Yijun博士利用该设备精确探测表面覆盖超过300nm光刻胶的三层堆叠石墨烯,并在其上完成电极图形的书写。去胶之后的电学测量结果显示其已经表现为第一个功能性器件。
   NanoFrazor3D纳米结构高速直写机的加工过程具有直接性、低损伤和高速等特点,这些都对张教授的研究具有极大的帮助。我们期待未来能够与课题组进一步紧密沟通合作,共同完成高速直写实验,不断增强微纳制备流程的高效性。
 
 
图2: (a) 手套箱中完成安装的NanoFrazor Scholar设备。
人员介绍(从左到右):Simon Bonanni博士,DENG Yujun,YU Yijun博士。
(b) 由NanoFrazor Scholar探测获得的光刻胶层下的石墨烯片层形貌。
(c) 由NanoFrazor Scholar直接书写并去胶剥离后的石墨烯片层上电极结构形貌。
(d) 石墨烯电极结构的电学测量结果。
 
客户反馈:
   “我们利用NanoFrazor Scholar来实现在手套箱内对精巧的二维材料表面制备电极。NanoFrazor可以精确定位二维材料,并且可以实时快速反馈整个刻蚀过程,这些功能对我们来说是非常重要的,我们可以利用NanoFrazor快捷地完成高质量实验器件的制备。”
复旦大学张远波教授

相关产品及链接:
1、 Swisslitho 3D纳米结构高速直写机NanoFrazor:
http://www.qd-china.com/products2.aspx?id=307 
 
     
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